【48812】和研科技“一种划片机机芯组件X轴直线度的视觉检测体系及办法”专利获授权
天眼查显现，沈阳和研科技股份有限公司近来获得一项名为“一种划片机机芯组件X轴直线度的视觉检测体系及办法”的专利，授权公告号为CN118129650B，授权公告日为2024年7月16日，申请日为2024年5月9日。
本发明揭露一种划片机机芯组件X轴直线度的视觉检测体系及办法，归于划片机机芯组件检测技术领域，包含驱动各轴的自动化工装、图画收集设备、转角电机、晶圆，驱动各轴的自动化工装与划片机机芯组件的各轴以及转角电机衔接；驱动各轴的自动化工装装置图画截取保存及处理软件程序模块，图画收集设备装置在划片机机芯组件的Y轴上，图画收集设备用于将所收集到的图画传输给驱动各轴的自动化工装，经过图画截取保存及处理软件程序模块对图画进行截取和处理；转角电机装置在划片机机芯组件的X轴溜板上，晶圆装置在转角电机上方的旋转动力端。本发明代替了传统的大理石尺与千分表的丈量办法，丈量精度大幅度的提高，可准确到1um以内。